반송로봇

제품코드	G068394
판매 회사명	(주)서진엔지니어링
연락처	031-608-2607
홈페이지	-
제품홍보관	http://blog.yeogie.com/seojinengineering

FR1200-2440 FOUP Stocker용 반송 Robot

	R축	θ축	Z축
반송속도	250(400)mm/sec	500(700)mm/sec	500(700)mm/sec
동작범위	±416mm	550mm	2440mm
반송대상	Ф300mm silicon wafer 만재 FOUP 질량 8.2kg
반복 정밀도	±0.2mm 이내
전원/진공	AC200~230V+10~-15% 50/60Hz 3상 전원 2.5KVA 이상
질량	승강 Slide Unit 140kg, Arm & Shift Unit 40kg

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G068394] 반송로봇