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제품소개

반송로봇

제품코드G068396[G068396] 반송로봇
판매 회사명(주)서진엔지니어링
연락처031-608-2607
홈페이지-
제품홍보관http://blog.yeogie.com/seojinengineering
반송로봇

GA2600-Z Edge Grip식 Aligner

위치결정정밀도Centering 위치 정밀도 ±0.2mm 이내
Notch 위치 정밀도 ±0.1° 이내
위치결정시간7초 이내
반송대상Ф150mm silicon wafer, Ф150mm Glass wafer
클린도ISO 2등급
전원/압공DC24V / 0.5Mpa
질량10kg


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