반송용로봇 썸네일형 리스트형 반송로봇 제품코드G068397판매 회사명(주)서진엔지니어링연락처031-608-2607홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/seojinengineering LR3700-310 직동식 Dual Arm Robot R축θ축Z축반송속도700mm/sec180°/1.4sec310mm/1.8sec동작범위700mm330°310mm반송대상□260*180 기판(최대) 대응반복 정밀도±0.1mm 이내전원/진공DC24V / 600W 이상질량42kg ※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G068397] 반송로봇 더보기 반송로봇 제품코드G068396판매 회사명(주)서진엔지니어링연락처031-608-2607홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/seojinengineering GA2600-Z Edge Grip식 Aligner위치결정정밀도Centering 위치 정밀도 ±0.2mm 이내Notch 위치 정밀도 ±0.1° 이내위치결정시간7초 이내반송대상Ф150mm silicon wafer, Ф150mm Glass wafer클린도ISO 2등급전원/압공DC24V / 0.5Mpa질량10kg ※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G068396] 반송로봇 더보기 반송로봇 제품코드G068395판매 회사명(주)서진엔지니어링연락처031-608-2607홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/seojinengineering EA2300-S005A Clamp식 Aligner 위치결정정밀도Centering 위치 정밀도 ±0.2mm 이내Notch 위치 정밀도 ±0.1° 이내위치결정시간5초 이내반송대상Ф300mm silicon wafer 대응클린도ISO 2등급전원/압공/진공DC24V / 0.5Mpa / 30L / min 53kPa 이상질량7kg ※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G068395] 반송로봇 더보기 반송로봇 제품코드G068394판매 회사명(주)서진엔지니어링연락처031-608-2607홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/seojinengineering FR1200-2440 FOUP Stocker용 반송 Robot R축θ축Z축반송속도250(400)mm/sec500(700)mm/sec500(700)mm/sec동작범위±416mm550mm2440mm반송대상Ф300mm silicon wafer 만재 FOUP 질량 8.2kg반복 정밀도±0.2mm 이내전원/진공AC200~230V+10~-15% 50/60Hz 3상 전원 2.5KVA 이상질량승강 Slide Unit 140kg, Arm & Shift Unit 40kg ※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G068394] 반송로봇 더보기 반송로봇 제품코드G068386판매 회사명(주)서진엔지니어링연락처031-608-2607홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/seojinengineering WR2154-300 방수 대응 Dual Arm Robot R축θ축Z축반송속도508mm/sec180°/1.2sec300mm/1.6sec동작범위508mm/108mm330°300mm반송대상Ф150mm, Ф200mm, Ф300mm silicon wafer 대응반복 정밀도±0.1mm 이내전원/진공DC24V / 19A질량45kg ※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G068386] 반송로봇 더보기 이전 1 다음